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Die Methode kann für die Bestimmung der Elemente Natrium bis Uran
(Metalle und viele Halbmetalle / Nichtmetalle) in unterschiedlichsten Stoffen eingesetzt
werden. Der Gehalt der interessierenden Komponenten kann von kleinen Verunreinigungen (Mikrogramm
pro Gramm) bis zu Hauptbestandteilen (%-Bereich) reichen.
Die Röntgenfluoreszenzanalyse ist prinzipiell eine zerstörungsfreie
Methode. Die Probengröße ist nur durch die Geometrie der Probenschleuse begrenzt.
Üblicherweise können Objekte bis zu einer Dimension von 25 x 20 x 12 cm direkt
untersucht werden.
Feststoffe werden von Röntgenlicht bestrahlt. Die Strahlung regt kernnahe
Elektronen in den Atomen der Probe an und löst damit eine charakteristische
Fluoreszenzstrahlung der im Probenmaterial vorhandenen Elemente
aus. Die Fluoreszenzstrahlung wird durch einen Einkristall-Polychromator
(Wellenlängendispersive RFA = WDX) oder einen Szintillationskristall
(Energiedispersive RFA = EDX) zerlegt und mittels Ionisationsdetektoren
oder Photodioden detektiert. Die gemessene Wellenlänge bzw.
Energie der Fluoreszenzstrahlung ist charakteristisch für die
Elemente in der untersuchten Probe. Da die Intensität der Fluoreszenzstrahlung
vom Massenanteil des untersuchten Elements abhängt, kann nicht
nur eine Identifizierung, sondern auch eine Quantifizierung vorgenommen
werden.
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